商品介绍

TI-70H

选择性钛蚀刻液 (双氧水)

・双氧水系的选择性钛蚀刻液,不含氟、氢氟酸,对环境影响低。
・可适用於高温及高PH作业条件,更能达到高效的蚀刻率,且槽液寿命更长。
・使用於晶圆级封装之Ti或TiW的UBM层蚀刻制程,且对於其他金属及底材具高度的选择比,如:Cu、Al、Ni、Au、Sn、SnAg、Polyimide、Glass、SiO2。
蚀刻液 1266236