蚀刻液、剥膜液、前后处理液、晶圆清洗液、雷射保护剂

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SPS-40H3
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SPS-40H

铜微蚀液

SPS-40H 是针对铜表面清洁所特别开发的过硫酸盐类微蚀液,主要用於增加铜面粗糙度使用。主成份为过硫酸钠、水溶性渗透剂、促进剂等,其对铜面微蚀效果,比过硫酸钠溶液有更佳的粗糙度和均匀性。
・不受氯离子干扰。
・减少当槽次数,节省running-cost。
・可降低过硫酸盐溶於水中的裂解速率,并充分发挥过硫酸盐微蚀能力,微蚀速率稳定。
・可使用於水平喷洒(SPRAY)或垂直浸泡(DIP)的作业系统。
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