1.不傷銅、銀等其他金屬。
2.催化劑不易裂解，可維持穩定的蝕刻速率，且對於溫度有良好的穩定性。
3.銅層線路的側蝕量低，適合 Fine Line 製程。
4.Bath Life 長，可補充添加來管控槽液。